| 加工定制：是 | 品牌：江苏超日 |
随着国内半导体行业的蓬勃发展需要。Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气所产生的SiO2粉尘在进气口的堵塞问题，曾被人们看作是对国内生产环保设备的工程设计人员的一大挑战。
我公司引进美国***技术成功研发出了迄今更高效、更可靠、***成本的Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺CRB型外延炉尾气净化器。
由于采用了本公司研制生产的***进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘装置，使该洗涤器的一次维护时间可以长达半年之久。这一优异性能带来了设备***的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。CRB型外延炉尾气净化器，其产品技术指标达到国际同类产品***水平，具有结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行噪音低、运行成本低、废气净化效***、废气处理效果好、设备检修方便、维护停机时间短、设备正常运行时间长、工艺稳定性好、***等诸多特点。
本公司自主研制的CRB型外延炉尾气净化器，在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室，洗涤器所产生的负压由人工手动控制，补水系统由人工根据工艺情况调节。即使在最苛刻的Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD工艺条件下使用，经过洗涤器的HCl废气在洗涤器的排放口仍在1ppm以下，SiO2粉尘去除率≥99.99％，水溶性气体的清除***达99.99％。在本行业生产的洗涤器中，江苏超日净化设备有限公司缔造了净化效率、维护最方便，运行成本***的奇迹。
■优良特点
与同行业相关洗涤净化器比较，本公司研制的CRB型外延炉尾气净化器有着以下诸多***性能：
A 净化效率 | E 维护停机时间*** |
B 使用成本*** | F 负压稳定性 |
C 操作维护最方便 | G ***性 |
D 进气口装置最科学 | H 设备体积同行业最小 |
